亚洲自拍偷拍专区-亚洲自拍偷拍网-亚洲自拍偷拍图-亚洲自拍偷拍视频-亚洲自拍偷拍区-亚洲自拍另类

復納科學儀器(上海)有限公司
技術文章
您現在所在位置:首頁 > 技術中心 > 使用飛納電鏡對 3D 打印金屬微彈簧進行原位電性能測試!

使用飛納電鏡對 3D 打印金屬微彈簧進行原位電性能測試!

 更新時間:2024-08-19 點擊量:465

微機電系統(MEMS)和許多其他微尺度電子元件都需要精細操作和電性能探測。這些元件的分析在從學術研究到工業規模生產和質量控制的多個領域中具有重要意義。在這些情況下,通常需要在最短的時間內獲得最佳結果。在本篇應用介紹中,展示了在飛納臺式掃描電鏡(SEM)中進行微觀表征和原位電性能探針測試的新方法,該方法能夠快速、精確地表征微尺度物件。

 

01 3D 打印微彈簧  和掃描電鏡微觀表征

 

Exaddon 提供增材微加工技術(µAM),用于生產具有優良材料性能的微尺度組件,如微彈簧。這些微彈簧有多種用途,包括用作探針陣列的接觸點。Exaddon CERES µAM 系統能夠通過局部電沉積直接在芯片表面打印具有復雜幾何形狀的金屬物體。通過這種方法,陣列中的每個彈簧可以得到不同的圈數、垂直間距和螺距。

 

本篇應用中,CERES µAM 系統被用在銅基板上 3D 打印微尺度銅彈簧。所制得彈簧高 90 微米,半徑 10 微米;金屬彈簧絲的直徑小于 4 微米。表 1 總結了該微彈簧的物理性能和關鍵尺寸信息。

 

 

1.png

 

2.png

圖1. 由 Exaddon CERES μAM 系統 3D 打印的微彈簧,與 Imina Technologies miBot 探針接觸。(飛納臺式掃描電鏡 Phenom XL G2 拍攝)

 

02 在飛納電鏡中對微彈簧進行原位電性能測試

 

為了表征其電氣和物理特性,將 3D 打印的銅微彈簧放入飛納臺式掃描電鏡大倉室 Phenom XL G2 中,并配備了來自 Imina Technologies 的集成原位電性能探測系統。該系統由 3 個 Imina Technologies miBot™ 探針組成,能夠自由移動并連接到顯微鏡外部的電控單元。電性能探測、數據收集和結果導出都可以通過 Imina Technologies Precisio™ 軟件進行管理。

 

3.png


圖2. 放置在飛納電鏡樣品臺上的 Imina Technologies miBot 探針

 

飛納臺式大倉室掃描電鏡 Phenom XL G2 集成的光學導航相機有助于 miBot 探針快速定位和接觸樣品。優于 8nm 的分辨率,可以快速高清成像使探針準確落在彈簧的接觸區域(約 15 微米),并實時觀察其變形情況。

 

4.png

圖3. 使用飛納臺式掃描電鏡 Phenom XL G2 對微彈簧進行 SEM 的實時成像

 

為了表征微彈簧,將 miBot 探針放置在彈簧的接觸區域,另一探針接觸基板。當第一個探針逐漸壓縮微彈簧時,記錄其 I/V 特性。該配置輕松測量了微彈簧的導電性,并確定了形成良好電接觸所需的變形量。

 

本應用結合了 Exaddon、Imina Technologies  和飛納電鏡在銅微彈簧的生產、表征和成像方面的專業知識。Exaddon 提供了高質量的 3D 打印微彈簧,隨后利用 Imina Technologies 的原位電性能探測系統進行了表征。整個實驗在飛納臺式大倉室掃描電鏡 Phenom XL G2 內進行,可以對樣品進行快速導航,并且能夠對微彈簧進行高分辨率 SEM 成像。



傳真:

郵箱:info@phenom-china.com

地址:上海市閔行區虹橋鎮申濱路 88 號上海虹橋麗寶廣場 T5,705 室

版權所有 © 2018 復納科學儀器(上海)有限公司   備案號:滬ICP備12015467號-2  管理登陸  技術支持:化工儀器網  GoogleSitemap

主站蜘蛛池模板: 国产色拍| 国产欧美国产综合第一区| 97国产影院| 惩罚美女妲己的尤老师| 97色伦图片7778久久| 日韩精品一区二区三区毛片| 色戒真做gif动图| 成人亚洲欧美日韩中文字幕| 天天干女人| aaa黄色| 香蕉91| 国产日韩免费视频| 晓雪老师我要进你里面好爽| 国产免费专区| 欧美国产合集在线视频| 亚洲AV人无码综合在线观看蜜桃 | 青青草综合网| 日麻逼| 日本艳鉧动漫1~6在线观看 | 2012手机在线中文字幕| 手机在线免费观看视频| 成年人网站免费在线观看| 亚洲精品久久7777777| xx顶级欧美熟妞xxhd| 亚洲精品一区二区久久久久| 高清视频大片免费观看| 国产精品思瑞在线观看| 亚欧洲乱码视频一二三区| 久久免费资源福利资源站| 日本韩国无矿砖码| 国产成人盗摄精品| 韩国三级做爰| 啪啪链接| www.com在线观看| 成年人免费观看| 美女视频一区二区三区在线| uoco福利姬网站| 国产精品视频久久久| 国色天香社区视频免费观看3| 天堂va亚洲va欧美va国产| 91久色|