高分辨率臺式掃描電鏡的特點(diǎn)和功能
高分辨率臺式掃描電鏡是一款使用高亮度燈絲的高分辨臺式掃描電鏡。放大倍數(shù) 130，000倍，用于觀察納米或者亞微米樣品的微觀結(jié)構(gòu)，基于高亮度燈絲和全新的聚焦系統(tǒng)的分辨率輕松達(dá)到14nm，同時具有全自動 操作，15秒快速抽真空、不噴金觀看絕緣體、2-3年更換燈絲等特點(diǎn)。
（1）高分辨率臺式掃描電鏡體型小巧，占用空間小；（2）強(qiáng)大的軟件功能，單窗口操作界面讓用戶操作方便簡單；（3）軟件實(shí)現(xiàn)檢測圖形實(shí)時存儲；（4）
高分辨率臺式掃描電鏡產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡潔，易于維護(hù)及保 養(yǎng)；（5）自動平臺采用中心定位模式，迅速定位待測樣品；（6）高低壓真空設(shè)計(jì)，可調(diào)式電壓，為不同樣品提供更合適的檢測環(huán)境。
高分辨率臺式掃描電鏡可用于測量亞微米或納米尺度的樣品；從試表面形貌獲得多方面資料，在掃描電鏡中，不僅可以利用入射電子和試樣相互作用產(chǎn)生各種信息來成象，而且可以通過信號處理方法，獲得多種圖象 的特殊顯示方法，還可以從試樣的表面形貌獲得多方面資料。因?yàn)閽呙桦娮酉蟛皇峭瑫r記錄的，它是分解為近百萬個逐次依此記錄構(gòu)成的。因而使得高分辨率臺式掃描電鏡除了觀察表面形貌外還能進(jìn)行成分和元素的分 析，以及通過電子通道花樣進(jìn)行結(jié)晶學(xué)分析，選區(qū)尺寸可以從10μm到3μm。
由于
高分辨率臺式掃描電鏡具有上述特點(diǎn)和功能，所以越來越受到科研人員的重視，用途日益廣泛。現(xiàn)在掃描電鏡已廣泛用于材料科學(xué)（金屬材料、非金屬材料、納米材料）、冶金、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體材料與器 件、地質(zhì)勘探、病蟲害的防治、災(zāi)害（火災(zāi)、失效分析）鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等。
